PRODUCT CLASSIFICATION
退火爐是在半導體元器件出產制造中采用的一種加工工藝,其包括加溫好幾個半導體芯片芯片以危害其電氣功能。熱處理工藝是對于不一樣的實際效果而擬定的。退火爐能夠加溫芯片以激話摻雜劑,將薄膜轉化成薄膜或將薄膜轉換成芯片襯底頁面。
使高密度堆積的薄膜,更改生長發育的薄膜的狀況,修補引入的危害,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜遷移到另一個薄膜或從薄膜進到圓晶襯底。退火爐能夠集成化到其他火爐處理過程中,例如空氣氧化,或是能夠自已處理。
退火爐有這些品種:臺車式退火爐的特性是節能省電,力度能夠超過30%上下,產品整體由爐墻、爐料、爐膛、灶頭、傳動組織、電加熱器設備、自動控制系統構成,它與其他產品的差異就在于它的爐墻能夠前后左右移動,放料的輛車和爐膛是確定的,這就處理了輛車的凈重問題,還能夠提高設施的運用年限。
井式退火爐關鍵用于出產加工盤圓線纜、銅制品、不銹鋼板等機件的退火處理,處理后的機件能夠降低空氣氧化保持清潔,機器設備結構由加熱爐爐墻、爐料、爐蓋、加溫元器件、溫度控制立柜等構件構成。
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